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高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產(chǎn)地: 廣東深圳
  • 材質(zhì): 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產(chǎn)品詳情

    RF系列多孔金屬限流器采用高純316L不銹鋼燒結(jié)技術(shù)制造,適用于高壓、高流量、超高純氣體輸送系統(tǒng)。當氣體管線破裂、閥門異常或調(diào)壓器失效時,它能自動限制過量氣體瞬間噴出,有效保護氣路系統(tǒng)安全,避免工藝中斷或設(shè)備損壞。

    ?●? 通用于半導體、光電、氫能源、工業(yè)氣體、真空系統(tǒng)等高要求工況

    ?●?安裝于VCR接頭、壓縮氣體管路、氣體分配歧管中

    ?●? 支持≤9N(99.9999999%)高純氣體

    ?●?抗堵塞、無需維護,可定制不同流量

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    2. 產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與工作原理

    ?● ?內(nèi)部為燒結(jié)多孔金屬結(jié)構(gòu),形成精密氣阻通道

    ?●?正常運行:氣體平穩(wěn)通過,形成層流

    ?●?管路破裂/瞬時壓力驟降:氣體迅速通過限流器被限制輸出,保護后端系統(tǒng)

    ?●?過濾+限流雙功能,不產(chǎn)生顆粒污染

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    3. 產(chǎn)品特點

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    結(jié)構(gòu)緊湊 結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,可直接安裝于VCR 1/4~1/2接口
    可定制流量 通過更換限流芯/氣阻配件,可調(diào)節(jié)不同流量(1~5000 sccm)
    控制穩(wěn)定 流量控制精準可靠,適用于穩(wěn)定與突變環(huán)境
    高溫高壓可用 適用于 ≤500℃、≤30 MPa 環(huán)境,耐高溫不變形
    不堵塞 多孔結(jié)構(gòu)均勻分布,確保氣體層流,不易堵塞
    材料安全 316L不銹鋼,顆粒脫落 <0.003 mg/m3,通過100%氨氣泄漏測試
    壽命長 燒結(jié)結(jié)構(gòu)無焊點、不老化,壽命長

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    ?4. 應(yīng)用行業(yè)與典型場景

    ?●??半導體氣體輸送(硅烷、氨氣、氫氣、氬氣)

    ?●?光伏薄膜沉積、OLED鍍膜設(shè)備

    ?●?高純氣體鋼瓶壓力調(diào)節(jié)保護

    ?●? 氫燃料電池系統(tǒng)安全防泄放

    ?●? 真空腔體氣體緩釋、排氣系統(tǒng)限流

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    5. 技術(shù)規(guī)格參數(shù)

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    濾芯材質(zhì) 316L不銹鋼粉末燒結(jié) 殼體材質(zhì) 316L不銹鋼
    流量范圍 0.1sccm~40slpm 最大工作壓差 1500psig
    精度 +7.5% Base 可重復性 ±0.1%
    最高使用溫度 460℃ 氦氣泄漏率 1×10-9cc/min
    密封面尺寸 1/4″‘VCR ? ?

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    ?6. 常見問題(FAQ)

    ?Q1:限流器和過濾器有什么區(qū)別?

    ?A:限流器側(cè)重限制瞬時氣體泄放量,防止爆沖;過濾器用于去除顆粒,兩者可合一結(jié)構(gòu)存在。

    ?Q2:可以用于氨氣、硅烷這種腐蝕性或易燃氣體嗎?

    ?A:可以,材料為316L或鎳基合金,提供特殊拋光與清洗處理,滿足半導體級氣體要求。

    ?Q3:堵塞后是否可以清洗?

    ?A:支持超聲波清洗或氮氣反吹,大多數(shù)情況下無需更換。

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