316L外殼快速進氣擴散器丨0.003μm管式氣體擴散器過濾器
深圳恒歌DF系列316L外殼快速進氣擴散器，重新定義了半導體制程中真空腔體的放氣標準。這款產品以全316L不銹鋼為結構基礎，融合快速進氣擴散與0.003μm精密過濾技術，在實現毫秒級排氣速度的同時，徹底解決了高速氣流帶來的湍流污染問題，為半導體制造的高效與潔凈提供雙重保障。
產品特點
●?極速進氣擴散：優化流道設計，實現氣體快速流通，提升腔體放氣效率。
●?316L 全鋼結構：耐高溫、耐高壓且耐腐蝕，適配各類惡劣工藝環境。
●?納米級過濾：過濾精度達 0.003μm，有效攔截超細微顆粒，保障潔凈度。
●?防湍流技術：特殊結構引導氣流平穩流動，避免顆粒揚起與硅片損傷。
●?靈活定制：可根據安裝空間調整尺寸，適配不同腔體與氣路布局。
| 擴散器過濾器技術參數 | ||||
| 濾芯材質?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | ? 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內表面? Ra ≥32μm | 過濾精度μm | ?≥0.003 可按需定制 | |
| 最大進氣壓力? | 4bar | 最大工作壓差?? | 5bar | |
| 最高使用溫度? | ?400°C | 下游潔凈度 | <0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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應用場景
廣泛應用于半導體制造的高節拍生產線：在晶圓自動傳輸系統的真空互鎖腔中，實現快速放氣與進氣的高效切換;在光刻設備的晶圓載臺腔中，保障氣流穩定以提升對準精度;在蝕刻機的批量處理腔中，通過快速排氣縮短工藝周期。同時適用于半導體設備制造商的真空腔體測試系統及研發實驗室的小型真空裝置，為各類快速放氣需求提供定制化解決方案。
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